詳細(xì)描述

　　在工業(yè)中，薄膜的厚度有著非常重要的意義，因?yàn)樗苯雨P(guān)系到薄膜材料能否正常工作。尤其在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝中，薄膜厚度的任何微小變化都會(huì)對(duì)集成電路的性能產(chǎn)生直接的影響。除此之外，薄膜材料的厚度也影響著材料的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等。

自動(dòng)薄膜測厚儀CHY-U 

Sumspring三泉中石研發(fā)生產(chǎn)的CHY-U自動(dòng)薄膜測厚儀適用于2mm范圍內(nèi)各種薄膜、復(fù)合膜、紙張、金屬箔片等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度的準(zhǔn)確測量。儀器配備自動(dòng)進(jìn)樣器，可一鍵實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)多點(diǎn)測量，除此之外，儀器還配置微型打印機(jī)，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統(tǒng)計(jì)并打印測試結(jié)果，可自動(dòng)保存多達(dá)100組測試結(jié)果。

技術(shù)參數(shù)：      

測量范圍：  0-2mm （其他量程可定制）

分辨率：    0.1um

測量速度：  10次/min（可調(diào)）

測量壓力：  17.5±1kPa（薄膜）；100±1kPa（紙張）

接觸面積：  50mm2（薄膜），200mm2（紙張） 注：薄膜、紙張任選一種      

進(jìn)樣步矩：  0 ～ 1300 mm(可調(diào))

進(jìn)樣速度：  0 ～ 120 mm/s(可調(diào))  

機(jī)器尺寸：  450mm×340mm×390mm (長寬高)   

重    量：    23Kg

工作溫度：    15℃-50℃      

相對(duì)濕度：    ≤80%,無凝露    

試驗(yàn)環(huán)境：    無震動(dòng)，無電磁干擾   

工作電源：    220V 50Hz　 

參照標(biāo)準(zhǔn)

GB/T6672、GB/T451.3、GB/T6547、ASTMD645、ASTMD374、ASTMD1777、TAPPIT411、ISO4593、ISO534、ISO3034、 DIN53105、DIN53353、JISK6250、JISK6328、JISK6783、JISZ1702、BS3983、BS4817     

產(chǎn)品配置 

標(biāo)準(zhǔn)配置：主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊、微型打印機(jī)

選用配置：軟件、通信電纜、測量頭、配重砝碼、自動(dòng)進(jìn)樣器

技術(shù)特征 

1.自動(dòng)薄膜測厚儀CHY-U 配備微型打印機(jī)，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統(tǒng)計(jì)、打印，方便快捷地獲取測試結(jié)果 ；

2.打印大小值、平均值及每次測量結(jié)果，方便用戶分析數(shù)據(jù) ；

3.儀器自動(dòng)保存少于等于100組測試結(jié)果，隨時(shí)查看并打印； 

4.標(biāo)準(zhǔn)量塊標(biāo)定,方便用戶快速標(biāo)定設(shè)備 ；

5.配備自動(dòng)進(jìn)樣器，可一鍵實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)多點(diǎn)測量，誤差小； 

6.自動(dòng)薄膜測厚儀CHY-U 軟件提供測試結(jié)果圖形統(tǒng)計(jì)分析，準(zhǔn)確直觀地將測試結(jié)果展示給用戶 ；

7.配備標(biāo)準(zhǔn)RS232接口，方便系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)傳輸。